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真空镀膜基础知识

3,197阅读 51顶 123人收藏 44页wang5945上传 举报/认领 展开

本文档由 wang5945 分享于2010-01-02 11:57

该文档从基本概念、镀膜常用方法、薄膜的主要性能、真空知识、等离子体、薄膜沉积用到特气及作用等方面详细介绍了有关真空镀膜基础知识。
文档格式：
.ppt
文档大小：
1.05M
文档页数：
44页
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123
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1
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文档分类：
汽车/机械/制造  —  制造加工工艺
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文档标签：
真空镀膜 基础知识
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真空 镀膜 机械泵 薄膜 气体 分子
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