提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究

在用提拉法(Czochralski) 生长钽酸锂(LiTaO3) 、铌酸锂(LiNbO3) 单晶的实践中,通过对上“浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制。