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制备光学薄膜的离子源技术（尤大衛老师讲义）

1,408阅读 125顶 45人收藏 9页wxl0106上传 举报/认领 展开

本文档由 wxl0106 分享于2010-01-20 13:21

介绍了制备光学薄膜的各种常用离子源工作原理、关键技术
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341.18K
文档页数：
9页
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45
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IT计算机  —  网络与通信
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文档标签：
离子源 薄膜 光学薄膜 磁场 阳极 等离子体 阴极 电流 霍尔 ION
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离子源 光学 薄膜 离子束 制备 光学膜
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