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氧化铟和氧化锌混合薄膜的化学腐蚀特性研究综述

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氧化铟和氧化锌混合薄膜的化学腐蚀特性研究综述
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氧化铟 溅射 薄膜 磁控 化学 ITO ZnO 基片 原子 电阻率
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薄膜 氧化 化学腐蚀 磁控溅射 混合 溅射 论文 自然科学论文
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