中科院半导体研究所自主研发实验型Mocvd用户手册
本文档由 zhangxpei 分享于2010-02-11 00:38
本用户手册将作为程序用户的帮助手册,将对MOCVD监控系统的运行环境及其整个使用流程进行详细描述,力求在没有技术人员在现场的情况下,给用户提供随手可得的帮助。用户手册主要针对MOCVD监控程序的用户编写。
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