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光学薄膜基本工艺讲义

1,779阅读 25顶 75人收藏 114页wang5945上传 举报/认领 展开

本文档由 wang5945 分享于2010-02-11 08:19

本课件讲述的是光学薄膜基本工艺，包括真空系统的基本知识、制备技术、镀膜工艺、薄膜材料、膜厚监控、电子枪和离子源原理与作用
文档格式：
.pdf
文档大小：
1.38M
文档页数：
114页
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25 /  0
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75
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0
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文档分类：
高等教育  —  大学课件
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文档标签：
光学薄膜 基本工艺 讲义 薄膜 镀膜
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薄膜 光学 机械泵 蒸气 真空 讲义 高等教育 大学课件
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