[工学]第五章 有序纳米结构及应用

[工学]第五章 有序纳米结构及应用第五章 有序纳米结构及其应用定义有序纳米结构是指由零维纳米微粒、一维纳米材料构 筑的，在长程范围内具有一定排布规律，有序稳定 的纳米结构。纳米尺度的加工技术有两类： •“ 自上而下” 方式(top-down) 用光线或电子束等削除大片材料，从而 留下所需要的微细图形结构，主要用于 制造存储器和cpu等半导体器件，如 纳米刻蚀技术。 •“ 自下而上” 方式(bottom-up)..