【新能源技术】PECVD详尽资料整理

本文档由 精品库 分享于2012-10-22 10:42

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
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研究报告  —  新能源
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pecvd boe chamber susceptor loadlock team
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