与阻挡层发展相对应的品质管控及其缺陷改善

与阻挡层发展相对应的品质管控及其缺陷改善上海交通大学硕士论文本问首先从半导体技术趋势入手，抓住半导体快速发展的特点，介绍了阻挡层的作用极其生产工艺现状。