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博士学位论文-大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述

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本文档由 bdg365 分享于2008-12-23 21:58

九十年代以后，大规模集成电路工艺的发展仍然依照摩尔定律所预言的发展速度急剧增加。集成电路技术目前已发展到甚大规模阶段。
文档格式：
.doc
文档大小：
2.24M
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论文  —  期刊/会议论文
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博士 论文 开题报告 文献综述 扩散系数 晶界 晶粒间界 films Copper 集成电路
系统标签：
互连 集成电路 大规模 工艺 概述 互连线
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