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RIE与PECVD的区别

500阅读 7人收藏 2页gaojianhua.上传 举报/认领 展开

本文档由 gaojianhua778 分享于2012-11-26 13:16

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等离子体 RIE PECVD
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pecvd rie 电极 电极接 电极加 bias
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