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MEMS光开关的静电驱动技术

162阅读 3页天涯此时上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 天涯此时 分享于2010-05-12 00:11

技术论坛. TECHNOLOGYFORUM. 中国仪器仪表. 绝缘层的接触面积越来越小，平板的变形也变小，如. 图3（d）所示。在这个过程中，平板后部向前移动 ...
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行业资料  —  轻工业/手工业
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技术 绝缘
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光开关 静电驱动 mems 静电力 臂驱动 绝缘层
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