洁净室（区）尘埃粒子数检查操作规程

1.目的：建立一个测定洁净室（区）尘埃粒子数的检查方法。2.范围：适用于所有全厂洁净室（区）、超净台等的环境监测。3.责任：质检科检验员对实施本规程负责。4.程序4.1测试方法4.1.1本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区）的悬浮粒子洁净度等级。4.1.2仪器：用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数器（如：..