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准分子雷射微细加工课程

148阅读 3人收藏 76页天上星上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 天上星 分享于2009-01-03 23:41

焦於工件上,缺点是 很难达到最佳对焦平面,需藉其他辅助工具或试误 法(trial and error) ¸ 近接写印式 接触式的解析度较其他方式高,不过光分解时所产 生之碎片将影响光分解之进行,解决方法使用近接 法¸¸¸
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.pdf
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76页
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文档分类：
汽车/机械/制造  —  制造加工工艺
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文档标签：
准分子 雷射 微细加工 分子 微蚀刻技术
系统标签：
雷射 分子 加工 解析度 exitech homogenizer
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