低雜訊電容讀取電路應用於MEMS 壓力計元件之研究
本文档由 金豆子 分享于2013-03-08 01:22
... 型微加工的元件。現今，成功應用在市場上的微機電產品包括有噴墨印表機之印字頭、硬碟機讀取頭、生物檢測用的微流道、加速度計、陀螺儀、微型切換器、光學微面鏡、壓力感測器以及微型麥克風等等，微機電系統的研發及相關應用正 ...
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