DBD法二氧化钛薄膜的制备及其结构与性能研究

本文采用载玻片， ITO玻璃为衬底，利用 DBD—CVD法制备 TiO2 透明自清洁功能薄膜，选用四异丙醇钛(TTIP)作为Ti源的反应先驱体，用氮气作为载气在40℃进行气化，另外再加入一定量的N2、Ar或者 He作为稀释气体控制气体的流量和流速。先驱体气体通过介质阻挡放电分解成等离子体，并在直流偏压形成的电场下沉积到衬底上，获得TiO2薄膜。