DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜

本文采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备 TiO2 透明自清洁功能薄膜，选用四异丙醇钛(TTIP)，NH3 作为反应先驱体，另外再加入一定量的 N2、Ar 或者 He 作为稀释气体控制气体的流量和流速。