石英晶振激光减薄调频技术的研究

　石英晶振的谐振频率在出厂前需要进行微调，使之达到需要的标称值。传统微调采用蒸发镀膜法，存在一致性和膜层可靠性差的问题。本研究把激光微加工技术应用于该领域，利用激光使电极膜层汽化减薄，从而使晶振的频率升高到预期值。本文重点研究了激光器的工作电流和 Q脉冲宽度对晶振频率微调的影响。