低温度系数光纤MEMS压力传感器的设计与制造

传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志，它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中，压力传感器是应用最为广泛的一种。考虑到目前使用的硅压力传感器主要是扩散硅压力传感器，虽然其在目前技术己经比较成熟，但在强电磁干扰、易燃易爆等场所并不能使用。我们设计制造的光纤MEMS压力传感器集光纤传感器传输频带宽、动态测量范围大、易于组成分布式测量网的优点及MEMS传感器体积小、功能强、..