微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究

本文通过深入研究干涉显微法原理,对相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)的数学模型和算法进行了分析比较,提出了VSI相位包络算法,并且在频闪干涉视觉三维测量系统的基础上,完成了干涉显微测量的关键技术研究及系统实现。根据Michelson干涉仪模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数和相位函数之间的关系,得到了PSI和VSI测量方法的理论模型。