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微结构光学表面纳米尺度超精密加工工艺研究

174阅读 4人收藏 81页figodxl上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 figodxl 分享于2013-06-17 09:19

本论文研究旨在提高取样光栅的衍射效率均匀性
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论文  —  毕业论文
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取样光栅 衍射效率均匀性 微结构表面 柔性 纳米亚纳米尺度 超精密 研磨
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