多晶硅太阳能电池制作工艺概述

本发明公开了太阳能应用领域一种太阳能电池制作方法，本发明按生产过程依次为如下六个步骤z 前道化学预处理:半导体PN 结的制作:电感偶合等离子( ICP) 刻蚀周边:淀积氨化硅薄膜:丝网印刷正、背面电极:正、背面电极金属化及氨化硅薄膜烧穿。铝浆小窗口处印刷采用银铝浆，保证了小窗口也同样获得铝背场的结构，并且实现了铝浆小窗口处的三价铝对五价磷的补偿作用，同时本发明也对烧穿氨化硅薄膜工艺中的硅电池正面PN 结结..