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高性能深反应离子刻蚀（DRIE）及低温等离子体增强化学气相沉积（PEVCD）等离子处理系统_GIK_BM8-III_V13

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高性能深反应离子刻蚀（DRIE）及低温等离子体增强化学气相沉积（PEVCD）等离子处理系统_GIK_BM8-III_V13
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汽车/机械/制造  —  制造加工工艺
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等离子增强沉积
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等离子 pevcd 反应离子刻蚀 化学气相沉积 感应耦合 drie
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