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集成电路CU互连工艺中的TA基扩散阻挡层研究

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集成电路CU互连工艺中的TA基扩散阻挡层研究
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通信/电子  —  无线电电子学/电信技术
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研究 集成电路 互连 CU TA 工艺 CU互连 的TA 基 中的
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扩散阻挡层 互连 集成电路 工艺 研究
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