硅电容压力传感器及其产业化
本文档由 hanker010 分享于2010-08-23 16:48
压力传感器.具有以下特点: (1)稳定性好 硅电容压力传感器是一种结构型压力传感器,就检测原理而言,其稳定性就对温度不灵敏,温度附加误差小,不像硅压阻器件...
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