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快速光热退火法制备多晶硅薄膜的研究

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本文档由 平凡人 分享于2010-08-23 20:19

这是一篇为了应用于太阳电池的优质多晶硅薄膜，利用PECVD设备，利用快速光热退火法制备，有价值
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研究报告  —  新能源
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文档标签：
半导体材料非晶硅薄膜多晶硅薄膜
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退火 多晶硅 薄膜 光热 法制备 晶化
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