Plasma Ion Source

本文档由 ifbi0glrmwqd1289ed21pa_maj.. 分享于2009-02-10 09:41

离子源的研究和使用,对于表面处理有较好的应用效果,尤其是薄膜制成,有机材料基底上的薄膜沉积。
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行业资料  —  轻工业/手工业
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Ion used Films Figure Source pressure current drive different Torr
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ion plasma source iedfs calotte iad
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