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真空镀膜基础

26阅读 1人收藏 15页haitundocn上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 haitundocn 分享于2010-09-08 21:36

Arc (电弧区) (> 10-1 A):超过异常放电区域以上时,维持放电之电压会急速下降,产生大电流的电弧放电. 图3-1所示为直流辉光放电(DC glow discharge)两极间之...
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行业资料  —  轻工业/手工业
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电弧区
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镀膜 真空 sputtering 放电区域 大电流 电弧
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