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SiC(碳化硅)晶体生长炉控

2,171阅读 3顶 14人收藏 6页chensha201.上传 举报/认领 展开

本文档由 chensha2012 分享于2010-09-09 12:40

将HOLLiAS-LEC G3 小型一体化 PLC 应用于 SiC 晶体生长炉控制系统,根据碳化硅晶体生长工艺要求,提供了一种降低成本,增加可靠性的运动控制方 案. 该晶体生长炉运动...
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6页
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行业资料  —  轻工业/手工业
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晶体生长 sic 碳化硅 器件 hollias lec
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