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基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究

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论文  —  毕业论文
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AlN Matlab FBAR器件 有限元分析 Comsol
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fbar aln 氮化铝 薄膜 薄膜体声波谐振器 mbvd
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