引线键合变频式超声波发生器的研究与设计

本论文研究与设计的是面向芯片键合封装领域的变频式超声波发生器，其可以在广频域内驱动不同的金丝球引线键合换能器，智能搜索换能器最佳工作频率并动态锁相实现换能器的最优功率输出。其中，所进行的工作及成果如下:(l)通过对换能器等效电路模型及导纳圆进行的分析、仿真及实验，得出换能器各谐振模态下的电学特点及其锁相特征，为变频式超声波发生器的信号采集方案及锁相算法提供明确的理论依据。(2)对基于它激模式的变频式超声波发生器进行了整体设计，并对微控制器系统、DDS信号生成系统、滤波系统、功率放大系统、信号采集系统、信号调理反馈系统、人机交互系统、电源系统进行了研究、方案比较与详细电路设计。(3)为了得到快速切换、低失真、高稳定、宽频谱的信号源，系统引入了通信领域的DDS技术。采用高速AVR单片机控制DDS，系统具备灵活、快速的变频效果。辅以..