聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析

集成电路在研制，生产，和使用中都会发生失效，通过失效分析工作可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷，工艺参数的不匹配；同时也帮助集成电路制造过程中找到生产线上的缺陷，帮助生产线上快速提升制程量率；随着集成电路复杂度的不断增加，用于硅片调试和失效分析的方法将扮演越来越关键的角色。一项失效分析工作能否完成，最终要看能否找出器件结构上的缺陷。面对高集成度和亚微米线宽，聚焦离子束（FIB）已经成为一种越..