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集成电路铜互连工艺中先进扩散阻挡层的研究

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本文档由 曼曼 分享于2014-06-30 22:16

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集成电路 铜 互连 工艺 中 先进 扩散 阻 挡层 研究
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扩散阻挡层 互连 层淀积 集成电路 工艺 薄膜
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