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化學气相沉積 CVD 概述

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本文档由 alen1226 分享于2010-10-09 20:38

化學气相沉積 CVD 概述
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行业资料  —  轻工业/手工业
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CVD PECVD MOCVD LPCVD
系统标签：
cvd 化学气相沉积 沉积 沉积物 晶硅膜 氮化镓
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