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Micro electro mechanical

368阅读 2人收藏 17页千年人龙上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 千年人龙 分享于2009-02-24 20:48

Introduction toMicro-Electro-MechanicalSystem (MEMS)MEMS is• Micro-Electro-Mechanical System (mostly in USA), or• Mirco-System technology (MST) (mostly in Europe), or• Micromachining (mostly in Japan)• Integrat..
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行业资料  —  轻工业/手工业
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optical switch cal cati cromachi MEMS processes sensors etc technol
系统标签：
micro electro mems mechanical fabri cal
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