微型化低纹波压电陶瓷驱动电源的研制

一篇硕士论文：压电陶瓷驱动已被广泛地应用在微电子、微机械、纳米科技等众多技术领域。纳米工作台是纳米测量仪器及加工机械的重要部件，而压电陶瓷驱动系统又是纳米工作台的重要部分，纳米工作台对压电陶瓷驱动定位精度要求很高，驱动电源的品质对驱动器的定位精度影响很大，因此高精度驱动电源的研制也受到日益广泛的重视。