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第三代半导体碳化硅单晶的缺陷研究

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第三代半导体碳化硅单晶的缺陷研究缺陷,研究,单晶,碳化硅,单晶的,碳化硅单晶,第三代,半导体,单晶半导体,碳化硅晶体
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