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交替偏压工艺及ZrNi合金化对CrN薄膜结构与性能的影响

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交替偏压工艺及ZrNi合金化对CrN薄膜结构与性能的影响合金,薄膜,偏压,偏压对,薄膜的,偏压对薄膜,结构和,影响,CrN,薄膜结构和
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