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项目名称： MEMS规模制造技术基础研究 首席科学家： 王跃林中国科学院

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本文档由 3054197 分享于2010-10-28 19:05

我们还在干法刻蚀工艺制作的悬臂梁侧面制作了传感器，文章发表在IEDM上，为三轴微机械结构制造提供了可行的技术思路。我们在06年的973项目支持下，提出了定点定向自 ...
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mems 制造 规模 王跃林 技术基础 中国科学院 论文 毕业论文
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