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二氧化硅薄膜制备与厚度测量

3,769阅读 7顶 17人收藏 12页豆蔓上传 举报/认领 展开

本文档由 豆蔓 分享于2010-11-03 19:30

本文详细介绍了二氧化硅薄膜制备的过程，给出了薄膜的测量原理和测量过程，最后对结果进行了详细的分析。
文档格式：
.doc
文档大小：
1.03M
文档页数：
12页
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17
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生活休闲  —  科普知识
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文档标签：
二氧化硅 薄膜 制备 厚度测量 实验结果 分析
系统标签：
薄膜 二氧化硅 厚度测量 sio 制备 扩散
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