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扩散法制作PN结与结深测量

6,880阅读 18顶 19人收藏 13页豆蔓上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 豆蔓 分享于2010-11-06 22:32

本文介绍了固态氮化硼源扩散实验的实验原理、扩散工艺步骤与操作方法以及用电解显微法测量PN结厚度的方法。给出了实验设备和实验结果。
文档格式：
.doc
文档大小：
564.0K
文档页数：
13页
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生活休闲  —  科普知识
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文档标签：
扩散法 PN结 制作 结深测量 扩散方程 扩散分布 氮化硼 电解 显微法
系统标签：
扩散 法制作 杂质 硅片 发射区 硅片表面
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