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磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜的研究（可编辑）

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磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜的研究（可编辑）,磁控溅射,磁控溅射镀膜原理,磁控溅射原理,磁控溅射法,射频磁控溅射,直流磁控溅射,磁控溅射设备,磁控溅射靶材,磁控溅射技术
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中学教育  —  教学研究
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热电 薄膜 法制备 控溅射 原子 ybco
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