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光刻实验_中学教育-中学实验

1,733阅读 16顶 14人收藏 7页豆蔓上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 豆蔓 分享于2010-11-10 18:49

光刻是集成电路工艺中非常重要的步骤，本文详细介绍了光刻工艺的实验原理和造作步骤。
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.doc
文档大小：
99.5K
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7页
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光刻 集成电路 工艺 光刻成像 显影 曝光 坚膜 腐蚀
系统标签：
光刻 光刻胶 胶膜 显影 硅片 红外灯
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