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高剂量N^＋注入碳膜形成氮化碳CNx的研究

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本文档由 tohhdktce5qveptxzn68fg_maj.. 分享于2014-12-05 19:01

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研究 碳 注入 高剂量N 高剂量 CN_x 氮化碳 CNx 形成氮化碳 CNx膜的
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