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磁控溅射法制备Si掺杂ZnO薄膜及Al2O3包埋Si纳米晶薄膜.pdf
- 作为一种重要的微电子薄膜材料,Si已在超大规模集成电路(VLSI)、太阳电池、液晶显示、记忆存储以及特种半导体器件中都获得了成功的应用。近年,随着各类纳米薄膜材料与纳米量子器件的兴起,具有纳米晶粒多晶Si薄膜的结构制备与电学特性的研究也引起了广泛的关注。氧化锌(ZnO)是II.VI族直接宽带隙半导体(室温带隙3.37eV),因为具有较高的激子束缚能(60meV),使得它成为理想的下一代紫外发光二极管和激光二极管的候选材料。把ZnO和Si两种材料的光电性质结合到一起,将在光电领域具有极其重要的意义。目前这方面的研究工作多数都集中于在Si衬底上生长和制作ZnO的薄膜器件和纳米结构等研究上,而作为纳米粒子的发光效率被认为要比薄膜和一维纳米材料高得多。
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氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜及其掺杂.pdf
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向豆丁求助:有没有纳米Si?