豆丁网

4

ULSI中铜互连线技术的关键工艺.pdf

收稿日期:2000206221; 　定稿日期: 2000208211基金项目: 国家自然科学基金重点项目(69936020)第 31 icroelectronicsVol131, 2Apr12001文

• alone814
• 热度:

1篇相似文档

收藏到书房

立即下载

• s3377712
  ULSI中铜互连线技术的关键工艺

61

空气污染源对铜互连中电镀铜模拟工艺的影响.pdf

後旦大学硕士学位论文《专业学彼)Y』9S3719学校代码学哮10246043021170空气污染源瓣麓熏遘中奄镀锯模拟工艺的影响院系：专业：姓名：指导教师：完成日期：信息科学与工程学院电子与通信工程边

• dingyx0101
• 热度:

收藏到书房

立即下载

176

心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目可行性报告模板范本.docx

心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目可行性报告模板范本心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目可行性报告模板范本心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目可行性报告模板范本

• 广州中撰企业投资咨..
• 热度:

收藏到书房

立即下载

48

空气污染源对铜互连中电镀铜模拟工艺地影响论文.pdf

复旦人学＂ｆ究生院ＡｂｓｔｒａｃｔＴｈｅＳｔｕｄｉｅｓｏｎｔｈｅｉｍｐａｃｔｏｆａｉｒｂｏｒｎｅｍｏｌｅｃｕｌａｒｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎｓ（ＡＭｅｓ）ｏｎＩＣｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｐｒｏｃｅｓ

• weiaihai1949
• 热度:

收藏到书房

立即下载

9

铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用.pdf

铜互连布线及其镶嵌技术在深亚微米IC工艺中的应用

• ljinii
• 热度:

收藏到书房

立即下载

31

铜互连工艺技术.pptx

铜互连工艺技术铜互连工艺技术铜互连工艺技术

• 玉春传奇
• 热度:

收藏到书房

立即下载

62

铜互连工艺中的铝接触块失效分析及其工艺整合优化.pdf

後纵学硕士学位论文（专业学位）学校代码：１０２４６学号：０４３０２１１７５铜互连工艺中的铝接触块失效分析及其工艺整合优化院 名：指导教师：完成日期：信息科学与ｊ［程学院电子与通信工程王辛张卫教授．周华

• zxp_ke
• 热度:

收藏到书房

立即下载

4

后段铜互连工艺中降低通孔间介质材料的K值的方法.doc

后段铜互连工艺中降低通孔间介质材料的K值的方法后段铜互连工艺中降低通孔间介质材料的K值的方法后段铜互连工艺中降低通孔间介质材料的K值的方法

• 掌桥科研
• 热度:

收藏到书房

立即下载

4

一种大马士革铜互连工艺.doc

一种大马士革铜互连工艺一种大马士革铜互连工艺一种大马士革铜互连工艺

• 掌桥科研
• 热度:

收藏到书房

立即下载

4

一种用于半导体铜互连工艺的电镀铜膜的处理方法.doc

一种用于半导体铜互连工艺的电镀铜膜的处理方法一种用于半导体铜互连工艺的电镀铜膜的处理方法一种用于半导体铜互连工艺的电镀铜膜的处理方法

• 掌桥科研
• 热度:

收藏到书房

立即下载