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基于三蝶烯衍生物单分子树脂的合成、正性光刻胶及其在光刻中的应用.pdf
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一种三元有序光刻树脂和化学放大光刻胶及其制备、应用方法.pdf
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光刻胶组合物以及利用所述光刻胶组合物的金属多层膜图案形成方法.pdf
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光刻胶下层材料组合物及其制备方法、光刻胶下涂层.pdf
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制备光刻胶用顶部抗反射膜的组合物、光刻胶用顶部抗反射膜和含氟组合物.pdf
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用于负性光刻胶的聚酰亚胺树脂及包含其的负性光刻胶.pdf
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光刻胶显影和先进的光刻工艺.ppt
完成硅片对准和曝光光刻胶显影 其他先进的光刻工艺 通过显影液将可溶解的光刻胶溶解掉就是光刻胶显影． （光刻的8个基本步骤） 1气相成底膜 2旋转涂胶 4对准和曝光5曝光后烘焙 6显影 7坚膜烘焙 8显
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光刻概况及光刻前沿技术探讨--光刻胶的研究.pdf
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聚合物、光刻胶、光刻胶层及光刻工艺.pdf
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光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法.pdf
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