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一种
硅
微机
械谐振压力
传感器
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一种硅微机械谐振压力传感器一种硅微机械谐振压力传感器一种硅微机械谐振压力传感器
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一种微机
电环境
传感器
及其制备方法
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一种微机电环境传感器及其制备方法一种微机电环境传感器及其制备方法一种微机电环境传感器及其制备方法
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一种微机
械电容式风速风向
传感器
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一种微机械电容式风速风向传感器一种微机械电容式风速风向传感器一种微机械电容式风速风向传感器
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一种
梁膜机构的
微机
电系统压力
传感器
芯片及其制备方法
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一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法
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一种
高固有频率的
微机
械无线加速度、温度二合
一传感器
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一种高固有频率的微机械无线加速度、温度二合一传感器一种高固有频率的微机械无线加速度、温度二合一传感器一种高固有频率的微机械无线加速度、温度二合一传感器
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一种
带温度
传感器
的
微机
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一种带温度传感器的微机一种带温度传感器的微机一种带温度传感器的微机
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一种
全硅结构的
微机
电系统真空
传感器
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一种全硅结构的微机电系统真空传感器一种全硅结构的微机电系统真空传感器一种全硅结构的微机电系统真空传感器
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一种
梁膜机构的
微机
电系统压力
传感器
芯片
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一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片
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一种
垂直结构场发射
微机
械温度
传感器
结构
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一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构
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一种微机
械电容式倾角
传感器
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一种微机械电容式倾角传感器一种微机械电容式倾角传感器一种微机械电容式倾角传感器
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一种基于微机的传感器自动调零电路
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