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一种硅微机械谐振压力传感器.doc
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一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法.doc
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一种全硅结构的微机电系统真空传感器.doc
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一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构.doc
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向豆丁求助：有没有一种基于微机的传感器自动调零电路?

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