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The dry etching of TEOS oxide for poly-Si cantilevers in supercritical CO2.pdf

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Advances in Evaporated Solid-Phase-Crystallized Poly-Si Thin-Film Solar Cells on Glass (EVA).doc

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先进CMOS器件中poly-Si_TaN_HfSiON栅结构的干法刻蚀研究.doc

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自对准、全离子注入、Ｐｏｌｙ．Ｓｉ发射极工艺研究及其在超高速Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａ中的应用 刘道广李开成王洪平 模拟集成电路翻家重点实验室 信息产业部电子２４所， 。萝庆４０００６０ 摘要本文详细阐述一种自对

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