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CVD和MPCVD法钻石生长过程中采用双通道PID控制器控制真空度(气压)和温度.pdf
- 本文将针对CVD和MPCVD工艺设备中存在的问题,介绍一种国产的两通道24位高精度多变量PID控制器,此一台控制器可对温度和真空度同时进行控制,大大缩小了仪表占用空间和造价。两通道可一次共接入4个传感器,每个通道可以连接备用的温度和真空度传感器,由此可保障长时间钻石生长的安全性又可满足宽量程测控的需要,同时还可用来进行差值和平均值监测。
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向豆丁求助:有没有CVD钻石?